凈化車間主要之作用是控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為凈化車間。按照慣例，無(wú)塵車間凈化主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，凈化車間無(wú)塵是必然的要求。

　　凈化車間空氣潔凈度檢測(cè)方法：

　　光散射顆粒計(jì)數(shù)法適用于對(duì)粒徑大于或等于0.5微米的塵埃顆粒進(jìn)行計(jì)數(shù)。計(jì)算粒徑大于或等于5微米的灰塵顆粒。也可以使用薄膜顯微鏡計(jì)數(shù)法。光散射粒子計(jì)數(shù)法；

　　1、光散射粒子計(jì)數(shù)器的采樣量為100級(jí)：每次采樣量大于等于1升。級(jí)別1000-級(jí)別10000：每個(gè)取樣量大于或等于0.3升。級(jí)別100000：每個(gè)取樣量大于或等于0.1升。對(duì)于100級(jí)，應(yīng)使用大型流量粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)試。如果條件不滿足，可以使用每次取樣量不小于1升的顆粒計(jì)數(shù)器。

　　2、測(cè)量點(diǎn)的布局

　　(1)測(cè)試應(yīng)在清潔的工作區(qū)域進(jìn)行。當(dāng)生產(chǎn)過(guò)程沒有特殊要求時(shí)，取樣高度應(yīng)離地面1米。

　　(2)層流測(cè)量點(diǎn)的總數(shù)不得少于20個(gè)，測(cè)量點(diǎn)之間的間距為0.5~2.0米，粒徑大于等于0.5微米的塵粒數(shù)不得超過(guò)一個(gè)點(diǎn)。水平層流測(cè)量點(diǎn)僅布置在一清潔工作區(qū)。

　　(3)可在5個(gè)測(cè)量點(diǎn)測(cè)量湍流，清潔面積小于或等于50平方米。每增加20-50平方米，增加3-5個(gè)測(cè)量點(diǎn)。

　　凈化車間空氣潔凈度檢測(cè)一般在清潔空調(diào)系統(tǒng)完成，清潔空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行，且不需要工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的情況下在室內(nèi)進(jìn)行。選擇清潔工作區(qū)工作位置代表性測(cè)量點(diǎn)的氣流逆風(fēng)方向。值得注意的是，在測(cè)試儀器穩(wěn)定運(yùn)行的情況下，每個(gè)測(cè)量點(diǎn)的數(shù)據(jù)排序應(yīng)連續(xù)采樣三次，平均值應(yīng)為該點(diǎn)的測(cè)量值。